序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
包15 | 8吋氧化N型炉管设备 | 1台; | 详见招标文件 | |
8吋栅氧炉管设备 | 1台; | 详见招标文件 | ||
8吋常压退火PBY炉管设备 | 1台; | 详见招标文件 | ||
8吋常压退火NSD-AS炉管设备 | 1台; | 详见招标文件 | ||
8吋 BPSG Reflow炉管设备 | 1台; | 详见招标文件 | ||
包16 | 8吋D-POLY炉管设备 | 3台; | 详见招标文件 | |
8吋U-POLY炉管设备 | 1台; | 详见招标文件 | ||
8吋LP_SIN炉管设备 | 1台; | 详见招标文件 | ||
8吋LP_TEOS炉管设备 | 1台; | 详见招标文件 | ||
包17 | 8吋KrF Track机 | 1台; | 详见招标文件 | |
包18 | 8吋介质刻蚀设备 | 2台; | 详见招标文件 | |
包19 | WAT自动探针台设备 | 1台; | 详见招标文件 | |
包20 | 晶圆表面污染提取设备 | 1台。 | 详见招标文件 |
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