项目编号 : 0762-2441CBNB2001
公布日期 : 2024-01-22
受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年01月22日在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1. 招标条件
项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购化学机械抛光机（金属）设备、等离子体增强化学气相沉积设备、高深宽比磁控溅射设备各1套。
资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。
2. 招标内容：
招标项目编号：0762-2441CBNB2001
招标项目名称：甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目（重招）
项目实施
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2
等离子体增强化学气相沉积设备
1套
借助微波或射频使气体电离，局部形成等离子体，在较低的温度下沉积薄膜。用于沉积SiO2、SiNx、SiON、P-doped SiO2、Ge-doped SiO2、BPSG、FSG等薄膜。
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3
高深宽比磁控溅射设备
1套
使用磁控溅射方式用于深硅刻蚀后的硅通孔孔壁沉积阻挡层（Ti或Ta）及电镀种子层（Cu），防止金属与Si相互扩散的同时作为后续电镀孔内填充金属的导电层。
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3. 投标人资格要求
3.1特定资格条件：
3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；
3.2本项目不接受联合体投标。
3.3未领购招标文件不可以参加投标。
4.
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来源：中国电力招标采购网 编辑：cbbiddin