吉林师范大学重大设备贷款项目（十二）（三次）国际招标公告(1)

中吉国际项目管理 对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-01-03在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:无掩模光刻机（进口设备）具体内容详见招标文件资金到位或资金来源落实情况:已到位，银行贷款项目，已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:2125-244zjgjg0103招标项目名称: 吉林师范大学重大设备贷款项目（十二）（三次）项目实施地点:中国吉林省招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	无掩模光刻机（进口设备）	1套	1、配备405nm激光光源，功率不小于3mW，寿命长于10000小时； *2、最小分辨率不低于300nm,至少支持300nm、600nm、900nm光学分辨率，要求软件直接控制各分辨率模块的切换； 3、配备650nm波长红外聚焦系统，保证光刻过程的实时聚焦； 4、配备分辨率不低于1μm的摄像模组，保证优于500nm的套刻精度； *5、至少支持4096阶的灰度光刻； 6、配备ECM灰度面型补偿功能，保证灰度光刻工艺的稳定性； 7、配备高精度的光栅尺，定位分辨率不低于2nm，保证较好的光刻精度，CD均匀性优于50nm，边缘粗糙度优于30nm，平台运动直线度优于1u@150mm； 8、最大曝光面积不小于150mm*150mm 9、支持基板尺寸范围至少包括5mm*5mm~160mm*160mm； 10、要求Z方向自动聚焦，支持衬底厚度至少在0~10mm； 11、项目管理软件需支持在线画图(如各种类型光栅，透镜等)； 12、支持数据格式须包括DXF,GDSII,BMP,TIFF。 *13、支持免绘图模式曝光功能。 14.温控防尘系统:要求温度控制<±0.5℃,洁净等级class100； 15、需要在中国要有售后服务网点和同类型设备的实验中心提供技术支持。	/

3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:3.1如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的需提授权书，制造商直接授权需提供制造商出具的有效授权书，非制造商直接授权的需提供制造商国内逐级代理商的有效授权书；3.2 投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标机构处领购招标文件的法人或其他组织均不得参加投标。3.3 除非另有规定，凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区(以下简称“合格来源国/地区”)的法人或其他组织均可投标。3.4 与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人或其他组织不得参加投标。3.5 接参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加书（附单位负责人和授权代表身份证）。3.13.法律、行政法规规定的其他条件。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！

项目 联系人：李杨  
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备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。

编辑：chinabidding.co