受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-07-14在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。 1、招标条件 项目概况:宜兴中车时代半导体 槽式清洗设备及陪片清洗设备项目 资金到位或资金来源落实情况:已落实 项目已具备招标条件的说明:已具备 2、招标内容 招标项目编号:0623-2340J1110173/01 招标项目名称:宜兴中车时代半导体 槽式清洗设备及陪片清洗设备项目 项目实施地点:中国江苏省 招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 包1 | PRE Clean | 3台 | 用于8英寸硅晶圆的湿法清洗工艺。 | ★包中设备不得拆分投标。 |
| Post Clean | 4台 | 用于8英寸硅晶圆的湿法清洗工艺。 | ★包中设备不得拆分投标。 | |
| EKC Clean | 2台 | 用于8英寸硅晶圆的湿法清洗工艺。 | ★包中设备不得拆分投标。 | |
| OX ETCH1，OX ETCH2和SN ETCH | 3台 | 用于8英寸硅晶圆的湿法清洗工艺。 | ★包中设备不得拆分投标。 | |
| 包2 | 陪片清洗设备 | 3台 | 用于清洗8英寸硅晶圆表面附着的多晶硅/绝缘多晶硅/氮化硅和金属钨 | ★包中设备不得拆分投标。 |
3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩:资格标准： 包1：槽式清洗设备: 1、投标人具有所投设备的制造或销售资格，制造商近三年（以投标截止时间前36个月为有效，以合同或订单签订落款时间为准）具备8寸晶圆厂已交付的槽式清洗设备业绩合计不低于60台,其中氧化层和氮化硅晶圆刻蚀工艺类设备不低于10台。（投标文件中必须提供合同（或订单）复印件以及经合同甲方签字确认的收货单。如合同（或订单）中无法体现项目信息的，须同时另行提供相关证明材料） 2、投标人如为贸易公司，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》。 包2：陪片清洗设备: 1、投标人具有所投设备的制造或销售资格，制造商近三年（以投标截止时间前36个月为有效，以合同或订单签订的落款时间为准）陪片清洗设备业绩合计不低于5台。（投标文件中必须提供合同或订单复印件） 2、投标人如为贸易公司，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》。 是否接受联合体投标:不接受 未领购招标文件是否可以参加投标:不可以 4、
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来源：中国电力招标采购网 编辑：hnbidding